用于表征能量存储电极结构的纳米材料的计量方法及设备

摘要

本文描述的实施例一般涉及到用于形成在能量存储装置中使用的电极结构的方法和设备。更具体地，本文描述的实施例涉及到用于表征在形成用于能量存储装置的高容量电极结构中使用的纳米材料的方法和设备。在一个实施例中，提供用于形成用于能量存储装置的电极结构的工艺。该工艺包括通过扩散限制沉积工艺以第一电流密度在基板上方沉积柱形金属结构，测量柱形金属结构的电容以确定柱形金属结构的表面积，和在柱形金属结构上方以大于第一电流密度的第二电流密度沉积三维多孔金属结构。

主权项

一种在大面积基板上形成多孔电极结构的基板处理系统，包括：第一电镀室，用来通过限制扩散沉积工艺在大面积基板上形成第一金属的柱形层；第二电镀室，用来在柱形层上形成多孔层；和循环伏安室，用来通过测量该多孔金属电极结构的电容来确定多孔金属结构的表面积以表征纳米材料，其包括：电解质溶液；设置在电解质溶液中的参比电极；设置在电解质溶液中的对电极，其中，当设置在电解质溶液中时，其上沉积有多孔层和柱形层的大面积基板用作工作电极；和为工作电极提供斜坡电压的稳压器，其中稳压器和工作电极、参比电极及对电极耦合。