发明名称 |
高温炉尾气处理装置 |
摘要 |
本发明提供一种高温炉尾气处理装置,包括燃烧室,还包括残渣粉碎装置,所述残渣粉碎装置为中空网格框架,所述网格交汇点处设有凸起尖端,所述残渣粉碎装置安装于燃烧室内。本发明提供的高温炉尾气处理装置可使尾气残渣在掉落的时候被残渣粉碎装置上的凸起尖端打碎,尾气残渣不易结块,避免了大块的尾气残渣直接掉落堵塞尾气燃烧口及排水口,必须经常停机对尾气处理装置进行清理维护。采用本发明的高温炉尾气处理装置可将尾气处理装置的维护周期由每半天一次延长到每一月一次,从而大大延长了对尾气处理装置的停机维护周期,节约了维护成本,延长了设备正常运转的时间。 |
申请公布号 |
CN102252330A |
申请公布日期 |
2011.11.23 |
申请号 |
CN201010181279.X |
申请日期 |
2010.05.21 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
发明人 |
姜再培;张希山;陶永钧;汪少军 |
分类号 |
F23G5/44(2006.01)I |
主分类号 |
F23G5/44(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种高温炉尾气处理装置,包括燃烧室及盖于燃烧室顶部的燃烧室顶盖,其特征在于,还包括设置于燃烧室内的残渣粉碎装置,所述残渣粉碎装置具有中空网格框架,所述网格的交汇点处设有用于将固体残渣打碎的凸起尖端。 |
地址 |
201203 上海市张江路18号 |