差动结构的组合编码式涡流栅绝对位置传感器

摘要

一种电磁传感测量技术领域的差动结构的组合编码式涡流栅绝对位置传感器，包括：定栅、动栅和电路系统，定栅由相互平行的测量码道和主编码码道构成；测量码道上设有若干个等高且等间距分布的金属导体，主编码码道上设有若干个等高的金属导体；动栅由相互平行的且分别设有平面线圈的从测量码道和从编码码道构成，从测量码道和从编码码道分别正对测量码道和主编码码道。本发明可适合用于各种防水型电子测量器具，可以进一步降低现有涡流栅传感器对工艺的要求和提高传感器的绝对定位的可靠性，为涡流栅传感器的大批量化生产奠定坚实的基础。

主权项

一种具有差动结构的组合编码式涡流栅绝对位置传感器，包括：定栅、动栅和电路系统，其中：动栅与电路系统相连接，且动栅活动设置于定栅上，其特征在于：所述的定栅由相互平行的三个码道组成，分别是一个测量码道和两个编码码道。所述的定栅上的测量码道上设有若干个等高且等间距分布的金属导体，相邻金属导体的间距为测量码道波长；所述的定栅上的编码码道上设有若干个等高的金属导体，并按照编码周期进行排列，编码周期为编码码道波长，编码码道波长等于测量码道半波长的整数倍。所述的动栅由相互平行的三个码道组成，分别是一个测量码道和两个编码码道，且动栅上的测量码道和编码码道分别正对定栅的上测量码道和编码码道。