具有偏心开槽可变介质导波管的线型微波等离子体源

摘要

本发明公开一种具有偏心开槽可变介质导波管的线型微波等离子体源，该线型微波等离子体源包含反应腔室；设置在反应腔室上的矩形导波管，其底壁具有偏心设置的细长偏心开槽，偏心开槽将底壁区分成宽边及窄边，且矩形导波管以偏心开槽与反应腔室连通；嵌设在偏心开槽内且位于矩形导波管与等离子体反应腔室之间的石英板；及具有螺杆及介电质移动块的调整装置，移动块与螺杆连接而可移动地滑设在矩形导波管内，并藉螺杆的调整而进行位移，以达到最佳微波漏出率，可以在不增加微波发射功率的情况下，延伸等离子体的线型长度，以达到大面积输送带式制作工艺的目的。

主权项

一种线型微波等离子体源，包含：反应腔室；矩形导波管，设置在该反应腔室上，该矩形导波管的底壁具有偏离中心位置而偏心设置的细长偏心开槽，该矩形导波管以该偏心开槽与该反应腔室连通，且该偏心开槽将该底壁区分成一宽边及一窄边；石英板，可拆卸地嵌设在该偏心开槽内且位于该反应腔室与该矩形导波管之间；以及调整装置，可移动地滑设在该矩形导波管内。