利用多个较小的MEMS器件替换较大的MEMS器件的方法

摘要

本申请公开的多个实施例主要包括利用大量的小MEMS器件来替换单独的较大MEMS器件或数字可变电容器的功能。大量较小的MEMS器件执行与较大的器件相同的功能，但是由于其尺寸较小，因此能够利用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容工艺将这些较小的MEMS器件封装在空腔中。对大量较小的器件进行平均的信号使得较小器件的阵列的精度相当于该较大的器件的精度。通过考虑使用基于MEMS的加速度开关阵列来举例说明该过程，其中该开关阵列具有集成的惯性响应的模数转换。还通过考虑利用基于MEMS的器件结构来举例说明该过程，其中该MEMS器件并联地工作以作为数字可变电容器。

主权项

一种器件结构，其包括：基底；在所述基底上形成的多个层，该多个层的第一层界定了在该结构内形成的且位于该基底与该多个层之间的一个或多个空腔；以及在所述基底上方且位于所述一个或多个空腔内的多个微机电器件。