| 发明名称 | 装卡光掩模的主动卡爪机构 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种装卡光掩模的主动卡爪机构，包括支承座、摆动气缸、具有卡口的主动卡爪、主动轴套以及涨套和主动转盘，摆动气缸安装在支承座上，主动转盘通过主动轴套安装在支承座上并与摆动气缸的转子连接，主动卡爪通过涨套与主动转盘连接，支承座或/和摆动气缸安装有控制摆动角度的角度传感器。本实用新型具有结构合理，安装调试方便，能控制光掩模翻转角度的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN202049929U | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
| 申请号 | CN201120171908.0 | 申请日期 | 2011.05.26 |
| 申请人 | 常州瑞择微电子科技有限公司 | 发明人 | 吉保国;梅琳 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人 | 贾海芬 |
| 主权项 | 一种装卡光掩模的主动卡爪机构，其特征在于：包括支承座(16)、摆动气缸(11)、具有卡口的主动卡爪、主动轴套(6)以及涨套(4)和主动转盘(13)，摆动气缸(11)安装在支承座(16)上，主动转盘(13)通过主动轴套(6)安装在支承座(16)上并与摆动气缸(11)的转子连接，主动卡爪通过涨套(4)与主动转盘(13)连接，支承座(16)或/和摆动气缸(11)上安装有检测摆动角度的角度传感器(12)，或支承座（16）或/和摆动气缸（11）上安装有检测摆动角度的接近开关。 | ||
| 地址 | 213022 江苏省常州市新北区长江中路25号3-318 | ||