发明名称 透明外延p-n异质结薄膜及其制备方法
摘要 本发明公开了一种透明外延p-n异质结薄膜及其制备方法。该薄膜,包括作为单晶衬底基片的SrTiO3和位于单晶衬底基片之上的LaxSr1-xSnO3外延薄膜及位于所述LaxSr1-xSnO3外延薄膜之上的下述两外延薄膜中的任意一种:PbZr0.52Ti0.48O3外延薄膜和BiFeO3外延薄膜;LaxSr1-xSnO3外延薄膜中,0.03≤x≤0.07。本发明提供的p-n异质结薄膜,各层薄膜均具有很好的单晶外延性且均为钙钛矿结构,不仅具有很好的整流特性,而且整个器件在光波长400-2500nm(p层为PZT)、500-2500nm(p层为BFO)范围内具有高的透过率;p层材料(PZT,BFO)同时也是铁电材料,其中BFO在具有铁电性的同时还具有反铁磁性,在半导体器件的应用中会有更大的潜力。
申请公布号 CN101697354B 申请公布日期 2011.11.23
申请号 CN200910236143.1 申请日期 2009.10.20
申请人 中国科学技术大学 发明人 焦兴利;王海峰;刘亲壮;吴文彬
分类号 H01L29/15(2006.01)I;H01L21/363(2006.01)I 主分类号 H01L29/15(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 关畅
主权项 一种透明外延p‑n异质结薄膜,包括作为单晶衬底基片的SrTiO3和位于所述单晶衬底基片之上的LaxSr1‑xSnO3外延薄膜及位于所述LaxSr1‑xSnO3外延薄膜之上的下述两外延薄膜中的任意一种:PbZr0.52Ti0.48O3外延薄膜和BiFeO3外延薄膜;所述LaxSr1‑xSnO3外延薄膜中,0.03≤x≤0.07。
地址 230026 安徽省合肥市金寨路96号中国科技大学科技处
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