增强磁场型线性离子源

摘要

本发明属于离子束技术领域，具体地说是一种适用于离子束清洗，离子束刻蚀和离子束辅助沉积的磁场增强型线性离子源。包括阴极顶板、阴极外框、磁钢、外围磁钢、气路、水冷阳极和绝缘支柱。离子束引出口由构成阴极顶板的阴极顶板外环和阴极顶板内环之间开设的环状槽构成；磁钢和外围磁钢分别设在阴极外框内部的中间和外围，阴极顶板、阴极外框、磁钢和外围磁钢形成一个封闭的环形放电槽，阳极通过绝缘支柱支撑在环形放电槽中，位于环状离子束引出口下方，阳极上表面与离子引出口距离在5mm以上。本发明提高了离子源引出束流密度，可稳定工作于高电压小电流和低电压大电流两种工作模式、使用寿命长，并在恶劣的镀膜环境下能长时间正常工作。

主权项

一种增强磁场型线性离子源，其特征在于：包括呈长方形且顶部开有长环状贯通沟槽的阴极顶板和长条槽状的阴极外框(5)组成的盒状结构；所述阴极顶板上开有长环状贯通沟槽式环状离子引出开口(1)；所述盒状结构内部纵轴线上置有中央磁钢(20)，平行于所述中央磁钢(4)两侧且位于阴极外框(5)内壁处置有外围磁钢(4)，中央磁钢(20)和外围磁钢(4)之间形成环形放电槽；所述阴极外框(5)的底板上安装有绝缘支柱(15)，所述绝缘支柱(15)将长环状阳极(18)置于所述环形放电槽中，且使阳极(18)位于所述环状离子引出开口(1)下方；阴极外框(5)的底板上还设有气管(11)。