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发明名称 MIRROR SYSTEM AND LITHOGRAPHIC PROJECTION DEVICE COMPRISING SUCH A MIRROR SYSTEM.
摘要
申请公布号 NL2004753(C) 申请公布日期 2011.11.22
申请号 NL20102004753 申请日期 2010.05.20
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN, 发明人 ROSIELLE, PETRUS CAROLUS JOHANNES NICOLAAS
分类号 B81B3/00;F03G7/06;G02B26/06;G02B26/08;G03F7/20 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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