发明名称 Befestigung für ein längs geteiltes Rohrtarget
摘要 Befestigung für ein längs geteiltes Rohrtarget auf einem rohrförmigen Targetträger für Sputtereinrichtungen, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohrtarget (1) in zwei Halbzylinderschalen (2, 3) aufgeteilt ist, die den Targetträger (4) umschließen, wobei diese auf dem Targetträger (4) form- und kraftschlüssig festgelegt sind.
申请公布号 DE202011104768(U1) 申请公布日期 2011.11.22
申请号 DE201120104768U 申请日期 2011.08.24
申请人 FHR ANLAGENBAU GMBH 发明人
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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