摘要 |
Befestigung für ein längs geteiltes Rohrtarget auf einem rohrförmigen Targetträger für Sputtereinrichtungen, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohrtarget (1) in zwei Halbzylinderschalen (2, 3) aufgeteilt ist, die den Targetträger (4) umschließen, wobei diese auf dem Targetträger (4) form- und kraftschlüssig festgelegt sind.
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