| 发明名称 | 基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括衬底（1）、自衬底（1）向上依次设置在衬底（1）上的氧化层（2）、加热条（3）、绝缘层（4），该湿度传感器还包括第一电容电极（5）、第二电容电极（6）、钝化层（7）和湿度敏感介质（8），第一电容电极（5）、第二电容电极（6）分别设在绝缘层（4）上，在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上分别设有钝化层（7），湿度敏感介质（8）设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）之间，湿度敏感介质（8）还设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上方。本发明可以提高传感器的可靠性，工艺步骤简单，采用氧化石墨烯作为湿度敏感介质，该传感器具有灵敏度高，响应速度快，湿滞回差小等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN102253091A | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
| 申请号 | CN201110098038.3 | 申请日期 | 2011.04.19 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 赵成龙;黄庆安;秦明;毕恒昌;尹奎波 |
| 分类号 | G01N27/22(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 柏尚春 |
| 主权项 | 一种基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括衬底（1）、自衬底（1）向上依次设置在衬底（1）上的氧化层（2）、加热条（3）、绝缘层（4），该湿度传感器还包括第一电容电极（5）、第二电容电极（6）、钝化层（7）和湿度敏感介质（8），第一电容电极（5）、第二电容电极（6）分别设在绝缘层（4）上，在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上分别设有钝化层（7），湿度敏感介质（8）设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）之间，湿度敏感介质（8）还设在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上方，钝化层（7）位于第一电容电极（5）与湿度敏感介质（8）之间以及第二电容电极（6）与湿度敏感介质（8）之间。 | ||
| 地址 | 210096 江苏省南京市四牌楼2号 | ||