发明名称 以添加铝之铁矽催化剂制造准直性奈米碳管
摘要
申请公布号 TWI352688 申请公布日期 2011.11.21
申请号 TW096144230 申请日期 2007.11.22
申请人 國立成功大學 臺南市東區大學路1號 发明人 丁志明;邓福友
分类号 C01B31/02;B01J23/745;B01J21/06;C23C16/26 主分类号 C01B31/02
代理机构 代理人 郭雨岚 台北市大安区仁爱路3段136号13楼;林发立 台北市大安区仁爱路3段136号13楼
主权项 一种准直性奈米碳管之制造方法,其包含下列步骤:(a)提供一基板;(b)披覆一铝薄膜于前述基板上;(c)披覆一铁矽合金薄膜于前述铝薄膜上;(d)将前述基板置于化学气相沉积系统中;及(e)于前述化学气相沉积系统中通入含碳气体及平衡气体,以反应生成奈米碳管。
地址 台南市东区大学路1号