发明名称 |
以添加铝之铁矽催化剂制造准直性奈米碳管 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI352688 |
申请公布日期 |
2011.11.21 |
申请号 |
TW096144230 |
申请日期 |
2007.11.22 |
申请人 |
國立成功大學 臺南市東區大學路1號 |
发明人 |
丁志明;邓福友 |
分类号 |
C01B31/02;B01J23/745;B01J21/06;C23C16/26 |
主分类号 |
C01B31/02 |
代理机构 |
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代理人 |
郭雨岚 台北市大安区仁爱路3段136号13楼;林发立 台北市大安区仁爱路3段136号13楼 |
主权项 |
一种准直性奈米碳管之制造方法,其包含下列步骤:(a)提供一基板;(b)披覆一铝薄膜于前述基板上;(c)披覆一铁矽合金薄膜于前述铝薄膜上;(d)将前述基板置于化学气相沉积系统中;及(e)于前述化学气相沉积系统中通入含碳气体及平衡气体,以反应生成奈米碳管。 |
地址 |
台南市东区大学路1号 |