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经营范围
发明名称
镀膜用转盘及镀膜机
摘要
申请公布号
TWI352741
申请公布日期
2011.11.21
申请号
TW095100589
申请日期
2006.01.06
申请人
鴻海精密工業股份有限公司 新北市土城區自由街2號
发明人
李欣和;董才士
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
一种镀膜用转盘,其包括一个转盘本体及至少一个基片夹具,其改良在于,该镀膜用转盘还包括:设置于该转盘本体上之至少一个安装口;每个基片夹具对应收容于一个安装口内,每个基片夹具对应设有一个马达,该马达用于驱动相应之基片夹具相对于转盘本体翻转,以对承载在基片夹具上的基片的两侧分别进行镀膜。
地址
新北市土城区自由街2号
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