发明名称 复合式连续加料器
摘要
申请公布号 TWM416636 申请公布日期 2011.11.21
申请号 TW100209552 申请日期 2011.05.27
申请人 徐忠龍 苗栗縣頭份鎮中正路374號;許淑慧 发明人 徐忠龙;许淑慧
分类号 C30B15/20;H01L21/203 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人 黄志扬 台北市中山区长安东路1段23号10楼之1
主权项 一种复合式连续加料器,其系设置于一成长炉上,该复合式连续加料器包括有:一与该成长炉连接的主加料器,其具有一进料腔体、一容料器及一升降机构,该进料腔体与该成长炉相连通,该容料器容置有复数料体,该升降机构分别与该进料腔体及该容料器连接,供该容料器于该进料腔体内进行升降作业;及一与该成长炉连接的副加料器,其具有一置料容器、一缓冲下料器及一下料导引管,该置料容器容置有复数该料体,该缓冲下料器设置于该置料容器的一出口端,以承接由该置料容器输出之复数该料体,该下料导引管对应该缓冲下料器之一缓冲下料口并连通至该进料腔体。
地址 新竹县新丰乡坑子口674号之10 TW NO.674-10, KENGZIKOU, XINFENG TOWNSHIP, HSINCHU COUNTY 304, TAIWAN (R.O.C.)