微影装置、器件制造方法及可互换之光学元件

主权项

一种微影投影装置，其包含：一投影系统，其经配置以将一图案之一影像投影至一基板上，该投影系统包含形成一光学系统之复数个光学元件，该光学系统经组态以沿着一包括一光瞳平面之光径投射一辐射束，及一传送机构，其经配置以将一可互换光学元件移入及移出该光学系统之该光瞳平面中之该光径，其中该可互换光学元件之周边尺寸实质上匹配一图案化器件标准之相关部分，其中该传送机构包含一固持器，其经组态以在投射该辐射束之期间固持该可互换光学元件，该传送机构亦包含一轴承单元，其经组态以在当该可互换光学元件在投射该辐射束之期间被该固持器固持于该投影系统内时及当该可互换光学元件被该固持器固持于该投影系统外时支撑该固持器。