| 发明名称 |
基材加热组件 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI353004 |
申请公布日期 |
2011.11.21 |
| 申请号 |
TW093130567 |
申请日期 |
2004.10.08 |
| 申请人 |
應用材料股份有限公司 美國 |
发明人 |
佛德马克Ａ;菲拉斯提古苏菲雅Ｍ;珊索弗;希发拉马奎斯南菲斯维斯沃伦;李伟文彼得;思维堤马里欧大卫 |
| 分类号 |
H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
一种用以于处理期间支撑一具有预定标准化直径之基材的基材加热组件，该组件至少包含：一主体，具有一上表面及一下表面；一加热元件，内嵌在该主体中；一基材支撑面，形成在该主体的上表面上并界定一基材接收袋之一部份；及一环形壁，垂直该上表面而定向且高度至少为该基材厚度的一半，该壁包围该基材接收袋之外周长且其直径系比该预定基材直径大但不超过约0.5毫米；及一环，设在该基材接收袋中，其中该壁是该环内径的至少一部份，其中该环更包含：一斜面，由该环的壁向外扩张；及一环形凸缘，其系径向地位于该壁外部，其中该凸缘更包含多数个形成在其中的槽。 |
| 地址 |
美国 |
