具有减少条纹之研磨垫之制法

主权项

一种化学机械研磨垫之制法，包括提供备有聚合物材料之储槽；提供备有具有初始体密度之微球之储存料斗，其中该储存料斗进一步包括设在强制送风系统上之多孔膜；经由气体输入管线使流体化气体源连接于该强制送风系统；藉由将气体馈入该强制送风系统中而使该微球流体化并减少该初始体密度；提供输送系统以将该聚合物材料及该微球输送至混合器；形成该聚合物材料与该微球之混合物；将该混合物倒入模具中以形成模制产物；以及将该模制产物切割成该研磨垫。