发明名称 可动态变更测试流程之测试方法
摘要
申请公布号 TWI353033 申请公布日期 2011.11.21
申请号 TW097109042 申请日期 2008.03.14
申请人 京元電子股份有限公司 新竹市公道五路2段81號 发明人 王宪旌;杨世礼
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 陈达仁 台北市中山区长春路156号5楼
主权项 一种可动态变更测试流程的测试方法,用于测试一晶圆,该方法包含:决定该晶圆每一座标之晶粒的测试流程;以一多点测试(multi-site)执行测试;根据多点测试之各接触点的座标,执行测试流程;及产生测试结果与分类。
地址 新竹市公道五路2段81号