具有多重蚀刻结构之太阳能电池晶片及其制造方法

主权项

一种具有多重蚀刻结构之太阳能电池晶片的制造方法，包括下列步骤：提供一第一掺杂型半导体基底；使用一等向性蚀刻溶液来蚀刻该第一掺杂型半导体基底，以在该第一掺杂型半导体基底之一表面上，形成多数个微形山脉；使用一非等向性蚀刻溶液来蚀刻该第一掺杂型半导体基底之该表面，以在该表面之该些微形山脉上，形成多数个突起微粒；在该第一掺杂型半导体基底上进行掺杂，以在该第一掺杂型半导体基底上，形成一第二掺杂型半导体层；以及形成分别连接该第一掺杂型半导体基底与该第二掺杂型半导体层之多个电极。