基板加工机的工件装卸器

主权项

一种基板加工机的工件装卸器，其特征在于：所述工件装卸器具备：旋转工作台，其具有在以铅直方向的旋转轴为中心的同一圆周上等间隔地配置的至少3个保持台，所述旋转工作台绕所述旋转轴向一个方向间歇旋转；第1机械手，其将未加工基板从储料器向待机位置搬送；以及第2机械手，其将加工完基板从清理位置向储料器搬送；所述待机位置是保持台中的1个通过所述旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置时其旋转方向上游侧的保持台所处的位置，所述清理位置是保持台中的1个通过所述旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置时其旋转方向下游侧的保持台所处的位置，在所述清理位置中，利用喷射空气将附着在移动过来的加工完基板上的加工液和切粉及灰尘吹走，进而使附着在基板上的水分蒸发。