SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE OF THE SAME,申请号KR20080081489-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE OF THE SAME
摘要
申请公布号	KR101085186(B1)	申请公布日期	2011.11.18
申请号	KR20080081489	申请日期	2008.08.20
申请人		发明人
分类号	H01L21/677;H01L21/02;H01L21/683	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
主权项
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