发明名称 KINEMATIC ION IMPLANTER ELECTRODE MOUNTING
摘要
申请公布号 KR101083793(B1) 申请公布日期 2011.11.18
申请号 KR20067009477 申请日期 2004.10.15
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;H01J37/02;H01J37/08;H01J37/36 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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