发明名称 |
Target für Funkenverdampfung mit räumlicher Begrenzung der Ausbreitung des Funkens |
摘要 |
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Target für eine ARC-Quelle mit einem ersten Körper (3) aus einem zu verdampfenden Material welcher im Wesentlichen in einer Ebene eine zur Verdampfung vorgesehene Oberfläche umfasst, wobei die Oberfläche in dieser Ebene einen zentralen Bereich umgibt, dadurch gekennzeichnet, dass in dem zentralen Bereich ein von dem ersten Körper (3) elektrisch dergestalt isolierter zweiter Körper (7) der vorzugsweise in Scheibenform ausgebildet ist, vorgesehen ist, dass vom zweiten Körper (7) im Wesentlichen keine Elektronen zur Aufrechterhaltung eines Funkens bereitgestellt werden können. |
申请公布号 |
DE102010020737(A1) |
申请公布日期 |
2011.11.17 |
申请号 |
DE20101020737 |
申请日期 |
2010.05.17 |
申请人 |
OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH |
发明人 |
KRASSNITZER, SIEGFRIED;HAGMANN, JUERG |
分类号 |
C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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