| 摘要 |
<p>Ein Verfahren zur kollisionsfreien Positionierung eines Mikromanipulationswerkzeugs relativ zu einem Probenträger mithilfe eines Mikroskops, umfasst die folgenden Schritte: a) Bestimmen der fokalen Position ZP mindestens eines Punktes P auf der Oberfläche des Probenträgers durch Fokussieren eines Mikroskopobjektivs mit einer ersten numerischen Apertur NA1 auf den mindestens einen Punkt; b) Positionieren des Mikromanipulationswerkzeugs auf der optischen Achse des Mikroskops; c) Bestimmen der fokalen Position ZM des Mikromanipulationswerkzeugs durch Fokussieren des Mikroskopobjektivs oder eines zweiten Mikroskopobjektivs mit einer zweiten numerischen Apertur NA2 kleiner als die erste numerische Apertur NA1 auf die Spitze des Mikromanipulationswerkzeugs; d) Berechnen des Absenkwegs ZA(P) unter Berücksichtigung eines vorbestimmten Toleranzprofils ?Z durch die folgende Gleichung: ZA(P) = ZM - ZP - ?? mit ?? = ???+ ???, wobei ?ZM bzw. ?ZP eine vorbestimmte Toleranz bei der Bestimmung der Position des Manipulationswerkzeugs bzw. des Probenträgers ist; und e) Positionieren des Mikromanipulationswerkzeugs am Punkt P durch Absenken um den Absenkweg ZA(P).</p> |
