Halbleitersubstratbasierte Anordnung für eine RFID-Einrichtung, RFID-Einrichtung und Verfahren zur Herstellung einer solchen halbleitersubstratbasierten Anordnung

摘要

Die Erfindung betrifft eine halbleitersubstratbasierte Anordnung (10) für eine RFID-Einrichtung (12), insbesondere für einen RFID-Transponder, mit einem Halbleitersubstrat (14) und einer auf dem Halbleitersubstrat (14) aufgebauten elektronischen Schaltungsanordnung (18). Es ist vorgesehen, dass die halbleitersubstratbasierte Anordnung (10) weiterhin eine ebenfalls auf dem Halbleitersubstrat (14) aufgebaute Dünnschichtbatterie (22) zur Energieversorgung der RFID-Einrichtung (12) aufweist. Die Erfindung betrifft weiterhin eine RFID-Einrichtung (12) mit einer entsprechenden halbleitersubstratbasierten Anordnung (10) und ein Verfahren zur Herstellung einer entsprechenden halbleitersubstratbasierten Anordnung (10).