一种中空阴极离子源

摘要

本实用新型公开了一种中空阴极离子源，其至少包括电子枪、蒸发坩埚、连接螺母和进气管；在电子枪中，灯丝位于上阴极、下阴极及阴极绝缘套构成的中空阴极内，阳极安装于上阴极的上方且与上阴极之间设有间隙；在蒸发坩埚中，加热器套装于坩埚套内，坩埚体位于加热器内，隔热屏套装于坩埚套的外部；坩埚套的下部及阴极套的上部均设有外螺纹，坩埚套的下部与阴极套的上部通过连接螺母连接，坩埚体和加热器的上部连接有进气管。本实用新型提供的离子源便于拆卸、安装、换料、更换受损部件和清洁。

主权项

一种中空阴极离子源，其特征在于：至少包括电子枪、蒸发坩埚、连接螺母和进气管，电子枪包括灯丝、上阴极、下阴极、阴极绝缘套、上阴极接线环、阴极帽、阴极套、阳极、阳极座及阳极绝缘套，蒸发坩埚包括坩埚体、加热器、坩埚套及隔热屏；在电子枪中，外部套装有阴极绝缘套的下阴极设于阴极帽的中心处，上阴极位于下阴极的上方、且上阴极与下阴极之间设有阴极绝缘套，上阴极、下阴极及阴极绝缘套构成中空阴极，灯丝位于中空阴极内、且中空阴极安装于与阴极帽以螺纹方式连接的阴极套中，上阴极的上方依次安装有阳极绝缘套、阳极及阳极座，阳极绝缘套的下部与上阴极的上部连接，阳极位于阳极绝缘套与阳极座之间且与上阴极之间设有间隙，上阴极接线环套装于上阴极与阴极绝缘套的外部；在蒸发坩埚中，缠绕有加热丝的加热器套装于坩埚套内、且下部与坩埚套连接，坩埚体位于加热器内，隔热屏以卡槽方式套装于坩埚套的外部；坩埚体的底部嵌于阳极和阳极座中，坩埚套的下部及阴极套的上部均设有外螺纹，坩埚套的下部与阴极套的上部通过连接螺母连接，加热器的底部置于阳极座和阴极套的上方，阴极帽与隔热屏以螺纹方式连接，坩埚体和加热器的上部连接有进气管。