发明名称 |
制造用于物理气相沉积P-型透明导电膜的靶的材料 |
摘要 |
本发明记载了用于制造p-型透明导电薄膜的靶的粉末状氧化物材料(MxM′y)Cu2+aO2+b,其中-0.2≤a≤0.2,-0.2≤b≤0.2,并且-M′为Sr,M为Ba和二价Cu中的一种或两种,x>0,y>0并且x+y=1±0.2;或者-M为二价Cu,x=1±0.2,且y=0。 |
申请公布号 |
CN102245797A |
申请公布日期 |
2011.11.16 |
申请号 |
CN200980149365.8 |
申请日期 |
2009.11.30 |
申请人 |
尤米科尔公司 |
发明人 |
盖度·许贝里希茨;格里艾特·德里斯;达安·格德米;迈克尔·诺兰;西蒙·D·埃利奥特 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I;C01F11/02(2006.01)I;C01G3/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
张颖;樊卫民 |
主权项 |
用于制造p‑型透明导电薄膜的靶的粉末状氧化物材料(MxM′y)Cu2+aO2+b,其中‑0.2≤a≤0.2,‑0.2≤b≤0.2,并且‑M′为Sr,M为Ba和二价Cu中的一种或两种,x>0、y>0,并且x+y=1±0.2;或者‑M为二价Cu,x=1±0.2,并且y=0。 |
地址 |
比利时布鲁塞尔 |