发明名称 具有可变设计规则的标准单元架构和方法
摘要 本发明公开了一种对层到单元边界的间隔具有可变规则的标准单元布图的结构和方法。在一个实施例中,第一标准单元布图提供了导体层,该导体层的至少两个部件分开一个最小间隔距离,该导体层的至少一个部件到单元边界是一个基本上小于最小间隔距离的一半的第一间隔距离;第二标准单元放置为毗邻第一标准单元,第二标准单元的至少一个第二部件毗邻第一标准单元的第一部件,并且与所述共同的单元边界隔开一个大于最小间隔距离的一半的第二距离;其中第一和第二距离的总和至少与最小间隔距离是一样大的。还公开了形成标准单元的方法。
申请公布号 CN101752368B 申请公布日期 2011.11.16
申请号 CN200910209144.7 申请日期 2009.10.28
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 罗明健;马诺伊·阿卡尤·乔什;郑光茗;庄学理
分类号 H01L27/04(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;G06F17/50(2006.01)I 主分类号 H01L27/04(2006.01)I
代理机构 北京市德恒律师事务所 11306 代理人 梁永
主权项 一种集成电路结构,其中包括:在半导体衬底中定义的第一单元区,在第一方向和第二方向上延伸,并具有单元边界,所述第一单元区包括:第一有源区;至少一个第一栅电极带,覆盖在第一有源区上方并在第一方向上对准;导体层的第一组线,至少具有两个部件,并在两个部件之间具有最小间隔距离;第一组线的部件之一距离单元边界具有第一间隔距离,其中第一间隔距离低于最小间隔距离的一半;和在半导体衬底中定义的第二单元区,在第一方向和第二方向上延伸,并与第一单元在第一方向具有一个共同的单元边界,第二单元区包括:第二有源区;至少一个第二栅电极带,覆盖在第二有源区上并且在第一方向上对准;导体层的第二组线,至少具有两个部件,并在两个部件之间具有最小间隔距离;和第二组线的部件之一被放置并且与共同单元边界间隔了第二间隔距离,并且被放置为毗邻第一单元的第一组线的所述部件之一,第二间隔距离超过最小间隔距离的一半;其中第一间隔距离和第二间隔距离的总和不小于最小间隔距离。
地址 中国台湾新竹