纳米压印装置及纳米压印方法

摘要

本发明涉及一种纳米压印装置及一种纳米压印方法。该纳米压印装置包括压印头、模具、加热装置及真空发生装置。该压印头包括压印面及与该压印面相对的固定面。该模具包括模仁及模腔，该模仁自该模腔中露出，具有纳米级特征尺寸的微细结构。该压印头及加热装置分别设于该模具的上方及下方。该压印面设有导气孔。该导气孔孔径与该模腔口径匹配。该真空发生装置与该导气孔相通，用于通过该导气孔于该压印头内产生吸附力。使用该纳米压印方法可避免支撑片被压碎及相对模具移位。

主权项

一种纳米压印装置，其包括压印头、模具及加热装置，该压印头包括压印面及与该压印面相对的固定面，该模具包括模仁及模腔，该模仁自该模腔中露出且具有纳米级特征尺寸的微细结构，其特征是，该压印头及该加热装置分别设于该模具的上方及下方，该压印面设有导气孔，该导气孔孔径与该模腔口径匹配，该纳米压印装置还包括与该导气孔相通的真空发生装置，该真空发生装置用于通过该导气孔于该压印头内产生吸附力。