发明名称 Magnetic bearing device and a vacuum pump equipped with the same
摘要
申请公布号 EP1041288(B2) 申请公布日期 2011.11.16
申请号 EP20000302512 申请日期 2000.03.28
申请人 EDWARDS JAPAN LIMITED 发明人 MAEJIMA, YASUSHI
分类号 F04D19/04;F04D29/04;F04D29/058;F16C32/04;F16C39/06 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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