具有多个独立移动有节机械臂的基片传送装置

摘要

一种基片传送装置包含一种具有至少一个传动轴的传动部分以及至少两个SCARA手臂，该手臂可操作性得与至少一个传动轴相耦合，此至少一个的传动轴是至少两个的SCARA手臂的一种共用传动轴，影响至少两个的SCARA手臂的延伸和收缩，其中这至少两个的SCARA手臂相互耦合，因此，至少一个的传动轴与至少两个的SCARA手臂耦合，此传动轴的旋转能影响至少两个的SCARA手臂其中一个的延伸和收缩而基本上独立于至少两个SCARA手臂中另一的移动。

主权项

一种基片传送装置，包括：具有至少一个传动轴的传动部分；以及至少两个SCARA臂，其可操作地与所述至少一个传动轴耦合，所述至少一个传动轴是至少两个SCARA手臂的共同传动轴，其使所述至少两个SCARA臂延伸和收缩，其中所述至少两个SCARA手臂相互耦合，并且所述至少一个传动轴中的所述共同传动轴与所述至少两个SCARA臂耦合，所述共同传动轴的旋转使所述至少两个SCARA臂中的每一个延伸和收缩，而不受所述至少两个SCARA臂中另一臂移动的影响。