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发明名称 MOVABLE PHASE STEP MICRO MIRROR HAVING A MULTILAYER SUBSTRATE AND A METHOD FOR ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP2089773(B1) 申请公布日期 2011.11.16
申请号 EP20070856289 申请日期 2007.11.28
申请人 MICRONIC MYDATA AB;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SCHMIDT, JAN, UWE;BAKKE, THOR;FRIEDRICHS, MARTIN;DUERR, PETER
分类号 G03F7/20;G02B26/08 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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