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发明名称
摘要
申请公布号 JP4816256(B2) 申请公布日期 2011.11.16
申请号 JP20060151368 申请日期 2006.05.31
申请人 发明人
分类号 C23F1/00;C23F1/26;C23F1/28;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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