REDUCTION OF FEATURE CRITICAL DIMENSIONS,申请号KR20067004099-传众专利搜索

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发明名称	REDUCTION OF FEATURE CRITICAL DIMENSIONS
摘要
申请公布号	KR101083622(B1)	申请公布日期	2011.11.16
申请号	KR20067004099	申请日期	2004.07.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;H01L21/033;H01L21/311;H01L21/768	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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