| 发明名称 |
Method for producing substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2053651(A3) |
申请公布日期 |
2011.11.16 |
| 申请号 |
EP20080167664 |
申请日期 |
2008.10.27 |
| 申请人 |
SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
SAKAGUCHI, HIDEAKI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L23/48;H01L25/10;H01L27/146 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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