发明名称 Deposition source, Deposition apparatus using the same and method for forming thin film
摘要
申请公布号 KR101084234(B1) 申请公布日期 2011.11.16
申请号 KR20090116421 申请日期 2009.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;H01L51/56 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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