高频探针

摘要

一种高频探针，具有一金属针及至少一金属线，金属线是布设于金属针上并与之相互电性绝缘，至少一金属线为电性连接至接地电位，可维持信号探针传递高频信号的特性阻抗，并可使高频探针的最大径长维持近似或小于两倍的金属针的径长，可供探针卡上大量设置高频探针以供大量电子元件的探测，有效并快速的对电子元件进行晶圆级电性测试。

主权项

一种高频探针，其特征在于，包括有：一金属针，具有一针尖、一针尾及介于该针尾与针尖之间的一固定部，该针尖用以点触电子元件，该针尾及该固定部用以固定于测试用电路板上；至少一金属线，是布设于该金属针上，该至少一金属线是电性连接至接地电位，该至少一金属线是自该金属针的针尾延伸布设至该金属针的针尖与固定部之间；以及，至少一绝缘层，是设于该金属针及该金属线之间，该至少一绝缘层以同轴环绕该金属线。