可转换的抗反射涂层

摘要

一种抗反射涂层组合物包括(I)倍半硅氧烷树脂(II)选自光酸产生剂及热酸产生剂的化合物；和(III)溶剂其中在倍半硅氧烷树脂中包含羧酸形成基团或硫酸形成基团。

主权项

一种抗反射涂层组合物包括：(I)倍半硅氧烷树脂，所述倍半硅氧烷树脂由下列单元组成：(Ph(CH2)rSiO(3‑x)/2(OR′)x)m(HSiO(3‑x)/2(OR′)x)n(MeSiO(3‑x)/2(OR′)x)o(RSiO(3‑x)/2(OR′)x)p(R1SiO(3‑x)/2(OR′)x)q(II)选自光酸产生剂和热酸产生剂的化合物；和(III)溶剂其中在所述倍半硅氧烷树脂中，Ph是苯基，Me是甲基；R′是氢原子或含1至4个碳原子的烃基；每个R选自羧酸形成基团或硫酸形成基团以及可选痕量的对应羧酸或硫酸；且每个R1独立地选自取代的苯基、酯基、聚醚基团、巯基、含硫有机官能团、羟基生成基团、芳基磺酸酯基团、和反应性或可固化的有机官能团；且r的值为0、1、2、3或4；x的值为0、1或2；m的值为0至0.95；n的值为0.05至0.95；o的值为0至0.95；p的值为0.05至0.5；q的值为0至0.95；且m+n+o+p+q≈1。