快速响应的微电子机械系统相对湿度传感器

摘要

本发明公开了一种快速响应的微电子机械系统相对湿度传感器：该相对湿度传感器包括设有空腔（8）的衬底（1）、设置在衬底（1）上的氧化层（2）、设置在氧化层（2）上的加热条（3）、设置在加热条（3）上的绝缘层（4）、第一电容电极（5）、第二电容电极（6）和湿度敏感介质（7），第一电容电极（5）、第二电容电极（6）分别设置在绝缘层（4）上，湿度敏感介质（7）设置在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）之间，湿度敏感介质（7）还设置在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上方。本发明具有响应速度快，灵敏度高，湿滞回差小的优点。

主权项

一种快速响应的微电子机械系统相对湿度传感器，其特征在于：该相对湿度传感器包括设有空腔（8）的衬底（1）、设置在衬底（1）上的氧化层（2）、设置在氧化层（2）上的加热条（3）、设置在加热条（3）上的绝缘层（4）、第一电容电极（5）、第二电容电极（6）和湿度敏感介质（7），第一电容电极（5）、第二电容电极（6）分别设置在绝缘层（4）上，湿度敏感介质（7）设置在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）之间，湿度敏感介质（7）还设置在第一电容电极（5）和第二电容电极（6）上方，加热条（3）包括相对设置加热第一公共端（33）和加热第二公共端（34），加热条（3）为条状且等间距相邻排列，第一电容电极（5）包括若干平行的第一电极（53）、将第一电极（53）连接在一起的第一公共端（51）、每个第一电极（53）设有与第一公共端（51）相对的第一自由端（52），第一电极（53）连接第一公共端（51）与第一自由端（52），第二电容电极（6）包括若干平行的第二电极（63）、将第二电极（63）连接在一起的第二公共端（61）、每个第二电极（63）设有与第二公共端（61）相对的第二自由端（62），第二电极（63）连接第二公共端（61）与第二自由端（62），第一自由端（52）与第二公共端（61）不接触，第二自由端（62）与第一公共端（51）不接触。