微机电元件与制作方法

摘要

本发明涉及一种微机电元件与制作方法，所制作出的微机电元件包含：依任意次序沉积的包含至少一层金属层与一层防护层的薄膜结构；以及连接在该薄膜结构下方的突起部，该突起部以金属制成，且该突起部包含一层金属层与一层通道层。较佳的薄膜结构为至少包含下方防护层、金属层、上方防护层的三层式薄膜结构。此微机电元件例如适合应用来制作电容式微声压传感器。

主权项

一种微机电元件制作方法，其特征在于，包含：提供一个基板；在该基板上形成介电层；在该介电层中以不同于介电层的材质形成突起部，且该突起部不与该基板上表面相连，该突起部以金属制成，且该突起部包含一层金属层与一层通道层；沉积包含至少一层金属层与一层防护层的薄膜结构；蚀刻该基板的背部形成穿孔；以及蚀刻去除该介电层的一部份。