成像扫描与粗逼近隔离的扫描探针显微镜镜体

摘要

本发明公开了一种成像扫描与粗逼近隔离的扫描探针显微镜镜体，包括XYZ压电定位器、X压电定位器、XYZ压电定位器架、X压电定位器座、样品架，其特征是X压电定位器固定于样品架与X压电定位器座之间，XYZ压电定位器固定于XYZ压电定位器架上，所述X压电定位器的定位方向与重力方向垂直，所述XYZ压电定位器架以重力压在所述样品架上且在X压电定位器的定位方向上是自由的。本发明可解决扫描探针显微镜中粗逼近定位器的不稳定导致探针与样品间相对位置不稳定的问题，并利于实现全低电压（低于工业标准的15V供电电压）控制的扫描探针显微镜，从而降低电路的噪音、漂移和漏电流，提高测量精度和分辨率，同时也大大降低了成本。

主权项

成像扫描与粗逼近隔离的扫描探针显微镜镜体，包括XYZ压电定位器、X压电定位器、XYZ压电定位器架、X压电定位器座、样品架，其特征在于：所述X压电定位器固定于样品架与X压电定位器座之间，X压电定位器的定位方向与重力方向垂直，所述XYZ压电定位器固定于XYZ压电定位器架上，所述XYZ压电定位器架以重力压在所述样品架上且在X压电定位器的定位方向上是自由的。