| 发明名称 |
ADJUSTABLE IMPLANTATION ANGLE WORKPIECE SUPPORT STRUCTURE FOR AN ION BEAM IMPLANTER UTILIZING A LINEAR SCAN MOTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1611592(B1) |
申请公布日期 |
2011.11.16 |
| 申请号 |
EP20040713445 |
申请日期 |
2004.02.20 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
MITCHELL, ROBERT |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J;H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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