发明名称 | 透明导电膜湿法蚀刻液组合物 | ||
摘要 | 本发明提供一种透明导电膜湿法蚀刻液组合物。该透明导电膜湿法蚀刻液组合物包含(1)0.5-10wt%的草酸;(2)0.1-40wt%的硫酸;(3)0.01-10wt%的铵盐;(4)0.001-10wt%的表面活性剂;(5)余量水。该蚀刻液组合物蚀刻速率均匀稳定,无残留,不腐蚀配线。 | ||
申请公布号 | CN102241985A | 申请公布日期 | 2011.11.16 |
申请号 | CN201110109688.3 | 申请日期 | 2011.04.29 |
申请人 | 西安东旺精细化学有限公司 | 发明人 | 张军;常积东;李承孝 |
分类号 | C09K13/06(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/06(2006.01)I |
代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人 | 徐平 |
主权项 | 一种透明导电膜湿法蚀刻液组合物,其特征在于:所述的蚀刻液组合物为草酸和硫酸的水溶液,其中草酸含量为0.5‑10wt%;硫酸含量为0.1‑40wt%。 | ||
地址 | 710075 陕西省西安市高新区高新路枫叶广场A座1205室 |