发明名称 多晶硅铸锭炉下炉体升降装置
摘要 本实用新型涉及晶体硅生长领域,尤其涉及一种多晶硅铸锭炉。一种多晶硅铸锭炉下炉体升降装置,包括三个驱动箱、三个蜗轮蜗杆升降机和一个驱动电机,所述的驱动电机通过传动机构与任意一驱动箱相连,三个驱动箱通过联轴器和软轴连为一体,蜗轮蜗杆升降机的输入端一一对应安装在驱动箱上,蜗轮蜗杆升降机的输出端与下炉体相连。本实用新型通过软轴将三个蜗轮蜗杆升降机连接起来,由一个驱动电机带动,实现了同步联动,从而保证下炉体升降时的水平度,使下炉体升降更加平稳,不易损坏,并能提高炉体内部热场的稳定性。
申请公布号 CN202039162U 申请公布日期 2011.11.16
申请号 CN201120086505.6 申请日期 2011.03.29
申请人 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 发明人 杨金海
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B28/06(2006.01)I
代理机构 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 代理人 伍贤喆;朱丽琴
主权项 一种多晶硅铸锭炉下炉体升降装置,其特征是:包括三个驱动箱(1)、三个涡轮蜗杆升降机(4)和一个驱动电机(5),所述的驱动电机(5)通过传动机构与任意一驱动箱(1)相连,三个驱动箱(1)通过联轴器(9)和软轴(2)连为一体,涡轮蜗杆升降机(4)的输入端一一对应安装在驱动箱(1)上,涡轮蜗杆升降机(4)的输出端与下炉体相连。
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