高速载入器相对于基片传送系统的校准

摘要

第一方面，提供相对于移动传送机来校准基片载体载入器的第一种方法。第一种方法包括步骤：(1)提供适于将基片载体装到移动传送机上的基片载体载入器；(2)将基片载体载入器与移动传送机对准；(3)相对于移动传送机校准基片载体载入器。提供多个另外的方面。

主权项

一种相对于移动的传送机来校准基片载体载入器的方法，包括：提供一个适于将基片载体装到一个移动传送机上的基片载体载入器；相对于移动传送机对齐基片载体载入器；相对于移动传送机校准基片载体载入器；其中，基片载体载入器相对于移动传送机的对齐包括：建立基片载体载入器的机座位置；在机座位置建立基片载体载入器的标高；在机座位置建立基片载体载入器的框架高度；并且基片载体载入器相对于移动传送机的校准包括相对于移动传送机确定基片载体载入器的末端执行器的水平发送偏移，该水平发送偏移可用于确定何时基片载体载入器的末端执行器将要开始发送：在移动传送机上基片载体的位置被确定后，将基片载体放到移动传送机上；或者在基片载体装到移动传送机上之后，从移动传送机上取走基片载体。