发明名称 磨片机砂浆流量自动调节装置
摘要 本实用新型涉及一种磨片机砂浆流量自动调节装置,砂浆流量自动调节装置,其特征在于:包括磨料厚度测试部分ALC、可编程控制器PLC控制部分、控制面板及蠕动泵转速控制部分,通过测厚仪ALC发出的TTL信号,控制PLC输出,通过控制中间继电器的动作来切换蠕动泵转速,当磨料厚度到达目标值时,测厚仪ALC发出一个TTL信号,PLC接收到该信号后,停止主机转动,研磨结束,其优点是,有效的解决磨料表面的高质量和高成本之间的矛盾,在研磨前期,砂浆流量满足正常的研磨速度即可,没有必要考虑表面质量,当到达研磨后期时,加大砂流量,对磨料的表面进行充分修研,这样就可以在不增加砂浆成本的同时提高了磨料的表面质量,进而提高了产品的竞争力。
申请公布号 CN202037542U 申请公布日期 2011.11.16
申请号 CN201020682073.0 申请日期 2010.12.27
申请人 天津市环欧半导体材料技术有限公司 发明人 靳立辉;刘铮;李海龙;王生远;王岩;耿辉
分类号 B24B49/00(2006.01)I;B24B51/00(2006.01)I 主分类号 B24B49/00(2006.01)I
代理机构 天津中环专利商标代理有限公司 12105 代理人 莫琪
主权项 一种磨片机砂浆流量自动调节装置,其特征在于:包括磨料厚度测试部分ALC、可编程控制器PLC控制部分、控制面板及蠕动泵转速控制部分;所述的磨料厚度测试部分包括工控机、厚度检测仪和测试探头,通过测试探头测量磨料厚度;所述的可编程控制器PLC控制部分包括数字输入和继电器输出端,PLC的两个数字输入端分别连接ALC测厚仪继电器输出端的一端,ALC测厚仪继电器输出端的另一端连接DC24V电源; ALC测厚仪通过输出TTL信号控制PLC两个数字输入接通或断开DC24V;PLC根据预制程序控制两个继电器输出端;PLC的两个继电器输出端的一端分别依次串接中间继电器R1和R2的线圈和DC24V+电源, PLC的两个继电器输出端的另一端接PLC的DC24V-端;中间继电器R1的常开触点串接R2的常闭触点及电位器T1与蠕动泵连接;中间继电器R2的常开触点串接R1的常闭触点及电位器T2与蠕动泵连接;所述的控制面板为可触摸屏式控制面板,控制面板与可编程控制器PLC的通讯模块相连接,可触摸屏式控制面板设有流量控制界面,该界面设有两个蠕动泵转速调节键,分别为转速1键和转速2键,通过这两个控制键可以设定蠕动泵的两个转速;所述的蠕动泵转速控制部分包括蠕动泵旋转方向控制开关和控制蠕动泵转速的电位器。
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