发明名称 微机电系统微型马达和装备该微型马达的时计
摘要 本发明涉及微机电系统微型马达和装备该微型马达的时计。本发明建议了产生在由晶体或非晶体材料,特别是基于硅的材料制成的板中的MEMS微型马达,该板包括形成基片的下部层、和至少一个促动器和一个转子蚀刻到其中的上部层,促动器驱动转子绕轴(64)旋转,其特征在于,轴(64)连接到板(30),该轴(64)为阶梯的,且轴向延伸通过板(30)的孔(74),且轴(64)通过弹性固定结构(96)在孔(74)中夹紧和定心,该弹性固定结构通过蚀刻在基片(32)中产生,且布置在孔(74)的周边上。
申请公布号 CN101183838B 申请公布日期 2011.11.16
申请号 CN200710186924.5 申请日期 2007.11.13
申请人 伊塔瑞士钟表制造股份有限公司 发明人 L·帕拉特;W·诺埃尔;J-P·里贝欧蒂;N·戈雷;Y·彼得曼德;A·赞耐特;F·布朗蒂欧;P-A·梅斯特
分类号 H02N1/00(2006.01)I;G04C3/00(2006.01)I 主分类号 H02N1/00(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 原绍辉;刘华联
主权项 用于时计的MEMS微型马达和板的组件,其中所述MEMS微型马达产生在由晶体或非晶体材料制成的所述板(30)中,其中该板包括上部层(34)和形成基片(32)的下部层,所述MEMS微型马达包括至少一个促动器(38,40)、一个转子(42)和圆柱形轴(64),其中所述至少一个促动器(38,40)和所述转子(42)蚀刻在所述上部层(34)中,并且所述促动器(38,40)驱动所述转子(42)绕所述圆柱形轴(64)旋转,其特征在于,所述轴(64)连接到所述板(30),所述轴(64)为阶梯状的,且轴向延伸通过所述板(30)中的孔(74),且所述轴(64)通过弹性固定结构(96)在所述孔(74)中夹紧和定心,该弹性固定结构通过蚀刻在所述基片(32)中产生,且布置在所述孔(74)的周边上。
地址 瑞士格伦兴