发明名称 二极管酸洗脱水工艺及其设备
摘要 本发明公开了二极管酸洗脱水工艺,包括如下工序:首先将二极管组件送入化学酸洗段,分别进行3次酸洗,4次冲水,将冲洗后的二极管组件送入至水超声清洗段进行超声清洗;结束后,将二级管组件送入至烘干段,烘干后,将二极管组件送入至冷却段,将冷却好的二极管组件依次送入至1号异丙醇缸与2号异丙醇缸内进行清洗,结束二极管酸洗脱水工序,二极管酸洗脱水设备,包括依次连接的化学酸洗段、水超声清洗段、烘干段、冷却段、1号异丙醇缸和2号异丙醇缸,所述的烘干段设置有紫外灯和温度开关,所述的紫外灯与温度开关相连接;所述的冷却段设置有风扇和风速调节开关,所述的风扇与风速调节开关相连接。
申请公布号 CN102244001A 申请公布日期 2011.11.16
申请号 CN201110178578.2 申请日期 2011.06.29
申请人 常州佳讯光电产业发展有限公司 发明人 徐谦;李伟;戴亮;庄娟梅
分类号 H01L21/329(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/329(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 何学成
主权项 二极管酸洗脱水工艺,其特征在于,包括如下工序:首先将二极管组件送入化学酸洗段,分别进行3次酸洗,4次冲水,所述的酸洗和冲水交替进行,将冲洗后的二极管组件送入至水超声清洗段进行超声清洗;结束后,将二级管组件送入至烘干段,调整烘干段的温度在40~70℃范围内,烘干120~180S;烘干后,将二极管组件送入至冷却段,控制冷却段的温度在15~30℃范围内,将二极管组件冷却低于30℃,停止冷却;将冷却好的二极管组件依次送入至1号异丙醇缸与2号异丙醇缸内进行清洗,结束二极管酸洗脱水工序。
地址 213022 江苏省常州市新北区镜湖路8号