致动器系统、光刻设备、控制部件位置的方法和器件制造方法

摘要

提供了一种致动器系统，所述致动器系统配置成相对于所述致动器系统的基座将部件移动。致动器系统包括第一和第二致动元件，每个包括彼此连接的且具有不同的热膨胀系数的两个材料部。所述两个致动元件配置成使得，如果一个致动元件的温度被增加，则它沿着与如果另一致动元件的温度被增加而由另一致动元件施加的力相反的方向施加力到所述部件上。致动器系统还包括至少一个电力供给装置，配置成独立可控地加热第一和第二致动元件。

主权项

一种致动器系统，所述致动器系统配置成相对于所述致动器系统的基座将部件移动，其中：所述部件被设定成沿着第一方向与所述基座分离开；所述致动器系统包括第一和第二致动元件，每个致动元件具有连接至所述基座的第一端和连接至所述部件的第二端；所述第一致动元件包括彼此连接的第一材料部和第二材料部，所述两个材料部从所述致动元件的第一端延伸至所述致动元件的第二端；所述第二致动元件包括彼此连接的第三材料部和第四材料部，所述第三材料部和第四材料部从所述第二致动元件的第一端延伸至所述第二致动元件的第二端；所述第一材料部的热膨胀系数不同于所述第二材料部的热膨胀系数；所述第三材料部的热膨胀系数不同于所述第四材料部的热膨胀系数；所述第一和第二致动元件每个配置成使得，如果所述致动元件的温度从额定工作温度增加，则所述致动元件施加平行于与所述第一方向垂直的第二方向的力至所述部件，以对其进行致动，使得由所述第一致动元件当其温度增加时所施加的力沿着与由所述第二致动元件当其温度增加时所施加的力相反的方向；和所述致动器系统还包括至少一个电力供给装置，配置成提供热量至所述第一和第二致动元件，其中所述至少一个电力供给装置能够不依赖于提供至所述第二致动元件的热量来控制提供至所述第一致动元件的热量。