| 发明名称 | 电子材料用清洗剂 | ||
| 摘要 | 一种电子材料用清洗剂，该电子材料用清洗剂对细小的颗粒和有机物的清洗能力优良且可降低基板上的金属污染，并且可提高制造时的产率，能在短时间内清洗，使这种非常有效的高度清洗成为可能。本发明是一种电子材料用清洗剂，所述电子材料用清洗剂含有氨基磺酸(A)、分子内具有至少一个磺酸基或该磺酸基的盐的阴离子型表面活性剂(B)、螯合剂(C)以及水；优选25℃时pH为3以下；此外，优选(B)的重均分子量为1,000～2,000,000的高分子阴离子型表面活性剂(B1)。 | ||
| 申请公布号 | CN102245750A | 申请公布日期 | 2011.11.16 |
| 申请号 | CN200980149608.8 | 申请日期 | 2009.11.25 |
| 申请人 | 三洋化成工业株式会社 | 发明人 | 铃木一充;佐藤祥平;杉山彩代 |
| 分类号 | C11D10/02(2006.01)I;C11D1/12(2006.01)I;C11D3/04(2006.01)I;C11D3/37(2006.01)I;G11B5/84(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | C11D10/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 张淑珍;王维玉 |
| 主权项 | 一种电子材料用清洗剂，其中，所述清洗剂含有氨基磺酸(A)、分子内具有至少一个磺酸基或所述磺酸基的盐的阴离子型表面活性剂(B)、螯合剂(C)以及水作为必要成分。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||